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沈陽科晶自動化設備有限公司
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| 參考報價： | 面議 | 型號： | VTC-16-3HD |
| 品牌： | 沈陽科晶 | 產地： | 遼寧 |
| 關注度： | 暫無 | 信息完整度： |  |
| 樣本： | 典型用戶： | 暫無 |
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粉末材料的制樣流程
| 產品名稱 | VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀 | |
| 產品型號 | VTC-16-3HD | |
| 安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥） 4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，,承重50kg以上 5、通風裝置：不需要 | |
| 主要參數 | 1、輸入功率：110V/220V通用 2000W（含真空泵） 2、輸出功率：1600VDC 50mA（最大電流） 3、石英罩：?160mm×120mm 4、樣品臺：?50mm（可選購加熱型樣品臺，最高溫度可到500℃；最長濺射時間不可超過5min） 5、真空泵：120L/M旋片式真空泵6、進氣口：裝有精密可調針閥，以實現方便的調節進氣量 7、靶材：尺寸直徑?47mm，厚度0.1mm-3mm；可濺射Au、Ag、Pt、Cr、Ni， 不可濺射氧化物、半導體、一些輕金屬、Al、Zn、C等 | |
| 產品規格 | 尺寸：360mm×350mm×3600mm； | |
| 可選配件 | 1、KF25真空接口、卡箍 2、不銹鋼波紋管（600mm） 3、旋片式真空泵（120L/M） 4、鉑、銀、鋅等各種高純度金屬靶材 5、加熱型樣品臺 | |
VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀（直流普通型），控制面板采用觸摸屏模式，基片極限尺寸為2″，放置樣品的直徑為?50mm，加熱溫度達500℃。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀可濺射金、銀、銅三種靶材，不可以濺射輕金屬和碳。本機采用旋轉式樣品臺，能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜，適用于實驗室制備復膜的樣品。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀采用PLC控制面板對設備進行控制，操作方便直觀。該機設備小巧，占用實驗室空間少，操作簡單，應用廣泛。因此被廣泛應用于各大高校及科研院所的實驗室中。
1、PLC控制面板，4.3″觸摸屏，PID控溫方式。
2、可控參數包括真空度、電流、靶材位置、基片加熱溫度。
3、可與真空泵、不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍連用。
4、已通過CE認證。
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注：該產品未在中華人民共和國食品藥品監督管理部門申請醫療器械注冊和備案，不可用于臨床診斷或治療等相關用途
