分子泵的作用原理

分子泵的作用原理是依靠分子的運動規律實現的。分子泵內部有大量的旋轉蒸發器，將氣體分子吸入蒸發器內，然后在蒸發器內加熱，使分子運動速度變快。由于蒸發器內部的細小管道非常長且彎曲，氣體分子在管道內不斷碰撞，速度變慢，最終被排放至容器外部。分子泵的排放速度不受氣體壓力的限制，能夠實現高速排泄氣體分子，從而創造出極度低壓環境。

技術指標

進氣口法蘭：DN160 CF DN160 ISO-K

排氣口法蘭（ISO-KF）：DN40

測量范圍（Pa）：1E^-5~1E⁵ Pa

抽速速率（L/s）：N₂：700 He：580 H₂：260 Ar：680

壓縮比：N₂：1E⁹ He：1E7 H₂：1E6 Ar：1E9

極限壓強（Pa）：CF:5E-5;ISO-K:5E-5

建議啟動壓強（Pa）：100

前級泵型號：RV6（ default ）

冷卻方式：水冷、風冷

冷卻水流量（L/min）：>1

冷卻水溫度（℃）：≤25

輸入電壓頻率（V/Hz）：380±20/50HZ        220±10/50HZ

環境溫度（℃）：水冷方式 5℃-40℃ 風冷方式 5℃-32℃

安裝方式：垂直

適配電源型號：FD-ⅡB（非標）/TCDP-Ⅱ（標準）

外形尺寸L*W*H（mm）（高=地面-過渡腔電離規處）：550×690×850(水冷) 550x690x915（風冷）

重量（kg）：135

產品特性

FJ-700型分子泵機組應用于半導體由北京中科科儀股份有限公司為您提供，如您想了解更多關于FJ-700型分子泵機組應用于半導體 報價、型號、參數等信息，歡迎來電或留言咨詢。

注：該產品未在中華人民共和國食品藥品監督管理部門申請醫療器械注冊和備案，不可用于臨床診斷或治療等相關用途。