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硅 質(zhì)譜

本專題涉及硅 質(zhì)譜的標(biāo)準(zhǔn)有16條。

國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類中,硅 質(zhì)譜涉及到光學(xué)和光學(xué)測(cè)量、分析化學(xué)、有機(jī)化學(xué)、半導(dǎo)體材料。

在中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類中,硅 質(zhì)譜涉及到、基礎(chǔ)標(biāo)準(zhǔn)與通用方法、一般有機(jī)化工原料、半金屬及半導(dǎo)體材料分析方法、半金屬與半導(dǎo)體材料綜合。


中國(guó)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn),關(guān)于硅 質(zhì)譜的標(biāo)準(zhǔn)

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局、中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì),關(guān)于硅 質(zhì)譜的標(biāo)準(zhǔn)

  • GB/T 40109-2021 表面化學(xué)分析 二次離子質(zhì)譜 硅中硼深度剖析方法

日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)調(diào)查會(huì),關(guān)于硅 質(zhì)譜的標(biāo)準(zhǔn)

  • JIS K 0164:2023 表面化學(xué)分析二次離子質(zhì)譜硅中硼深度分析方法

GSO,關(guān)于硅 質(zhì)譜的標(biāo)準(zhǔn)

  • BH GSO ISO 17560:2016 表面化學(xué)分析二次離子質(zhì)譜硅中硼深度分析方法
  • OS GSO ISO 12406:2013 表面化學(xué)分析二次離子質(zhì)譜法硅中砷的深度分析方法
  • GSO ISO 17560:2013 表面化學(xué)分析二次離子質(zhì)譜測(cè)定硅中硼深度數(shù)據(jù)的方法
  • GSO ISO 12406:2013 表面化學(xué)分析 二次離子質(zhì)譜 測(cè)定硅中砷深度數(shù)據(jù)的方法

國(guó)家質(zhì)檢總局,關(guān)于硅 質(zhì)譜的標(biāo)準(zhǔn)

  • GB/T 32495-2016 表面化學(xué)分析 二次離子質(zhì)譜 硅中砷的深度剖析方法
  • GB/T 24582-2009 酸浸取.電感耦合等離子質(zhì)譜儀測(cè)定多晶硅表面金屬雜質(zhì)

國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織,關(guān)于硅 質(zhì)譜的標(biāo)準(zhǔn)

  • ISO 17560:2014 表面化學(xué)分析 - 二次離子質(zhì)譜法 - 硅在硅中深度分析的方法
  • ISO 12406:2010 表面化學(xué)分析.二次離子質(zhì)譜分析法.硅中砷的深度剖析法

行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)-化工,關(guān)于硅 質(zhì)譜的標(biāo)準(zhǔn)

  • HG/T 6153-2023 甲基氯硅烷中乙基二氯硅烷的測(cè)定 氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用法

KR-KS,關(guān)于硅 質(zhì)譜的標(biāo)準(zhǔn)

  • KS D ISO 17560-2003(2023) 表面化學(xué)分析-二次離子質(zhì)譜分析-硅內(nèi)硼深度分布測(cè)定場(chǎng)法
  • KS D ISO 14237-2003(2023) 表面下學(xué)分析-二次離子質(zhì)譜分析-硅內(nèi)均勻添加硼原子濃度的測(cè)定方法

工業(yè)和信息化部,關(guān)于硅 質(zhì)譜的標(biāo)準(zhǔn)

  • YS/T 1300-2019 氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的測(cè)定 氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用法

英國(guó)標(biāo)準(zhǔn)學(xué)會(huì),關(guān)于硅 質(zhì)譜的標(biāo)準(zhǔn)

  • BS ISO 12406:2010 表面化學(xué)分析.二次離子質(zhì)譜分析法.硅中砷的深度剖析法




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