氧缺陷

本專題涉及氧缺陷的標準有3條。

國際標準分類中，氧缺陷涉及到金屬材料試驗、半導體材料。

在中國標準分類中，氧缺陷涉及到金屬無損檢驗方法、半金屬與半導體材料綜合、元素半導體材料。

國家質檢總局，關于氧缺陷的標準

• GB/T 4058-1995 硅拋光片氧化誘生缺陷的檢驗方法
• GB/T 4058-2009 硅拋光片氧化誘生缺陷的檢驗方法

美國材料與試驗協會，關于氧缺陷的標準

• ASTM F1727-97 拋光硅片氧化誘發缺陷檢測標準實施規程

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