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SJ 3243-1989
磷化銦單晶棒及片

Indium phosphide single-crystal bar and wafers

2010-02

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)
SJ 3243-1989
發(fā)布
1989年
發(fā)布單位
行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)-電子
當(dāng)前最新
SJ 3243-1989
 
 
適用范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了液封直拉法(LEC)生長(zhǎng)的磷化銦單晶棒、片的牌號(hào)命名方法、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于制造光電器件、微波器件、集成電路襯底用的液封直拉磷化銦單晶棒、片。

專(zhuān)題


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SJ 3243-1989 中可能用到的儀器設(shè)備





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