ASTM F728-81(2003)
準備光學(xué)顯微鏡進行尺寸測量的實踐方法

A practical approach to preparing an optical microscope for dimensional measurements

適用范圍: 1.1 本實踐涵蓋了用于尺寸測量的光學(xué)顯微鏡的準備。它旨在用于準備光學(xué)顯微鏡來測量硬表面光掩模和加工硅晶圓上 0.5 至 12 μm（含）的線寬。
1.2 本實踐適用于配備測微器附件的顯微鏡，例如光學(xué)絲線、視頻絲線、具有光學(xué)或視頻顯示的光學(xué)圖像剪切、光學(xué)圖像掃描或視頻圖像掃描測微器。本實踐不包括千分尺附件的調(diào)整和校準。
1.3 這種做法的目的是在明場透射照明下觀察光學(xué)透明樣本或在明場反射照明下觀察光學(xué)不透明樣本。它不適用于暗場照明。
1.4 這種做法僅限于具有照明系統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡，照明系統(tǒng)是顯微鏡主體的組成部分，并包括聚光鏡。
1.5 沒有能夠顯示所有顯微鏡設(shè)計的組件排列的有用圖表；因此，這種做法不包含建議使用特定顯微鏡的插圖和程序。
1.6 本標準并不旨在解決與其使用相關(guān)的所有安全問題（如果有）。本標準的使用者有責任在使用前建立適當?shù)陌踩徒】祵嵺`并確定監(jiān)管限制的適用性。有關(guān)更具體的危險說明，請參閱注釋 7、注釋 8 和注釋 17。