GB/T 1557-2018
硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測量方法
Test method for determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption
GBT1557-2018, GB1557-2018
- 標準號
- GB/T 1557-2018
- 別名
- GBT1557-2018, GB1557-2018
- 發布
- 2018年
- 總頁數
- 10頁
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 1557-2018
- 被代替標準
- GB/T 1557-2006
- 適用范圍
- 本標準規定了采用紅外光譜法測定硅單晶晶體中間隙氧含量的方法。 適用于室溫電阻率大于 $0.1~\Omega\cdot\mathrm{cm}$ 的N型硅單晶和室溫電阻率大于 $0.5~\Omega\cdot\mathrm{cm}$ 的P型硅單晶中間隙氧含量的測定。
| 術語 | 描述 |
|---|---|
| 色散型紅外光譜儀 dispersive infrared spectrophotometer | 使用棱鏡或光柵作為色散元件，通過振幅一波數光譜圖獲取數據的紅外光譜儀。 |
| 傅里葉變換紅外光譜儀 Fourier transform infrared spectrophotometer | 通過傅里葉變換將干涉譜圖轉換為振幅一波數光譜圖來獲取數據的紅外光譜儀。 |
| 參比光譜 reference spectrum | 由參考樣品獲得的用于背景扣除或比較的光譜。 |
| 樣品光譜 sample spectrum | 被測試樣品的光譜，通過與參考光譜的比較來分析樣品特性。 |
GB/T 1557-2018 中提到的儀器設備
| 紅外光譜儀 分辨率應達到 $4~\mathrm{cm}^{-1}$ 或更好（傅里葉變換型）；$5~\mathrm{cm}^{-1}$ 或更好（色散型） | 用于測量樣品在特定波數范圍內的吸收特性。 |
| 樣品架 適用于小尺寸樣品的固定裝置 | 確保樣品垂直于紅外光束軸線方向，避免旁路光線干擾。 |
| 厚度測量設備 精度大于 $0.01\mathrm{mm}$ | 用于精確測量硅片的厚度以保證測試準確性。 |
| 溫度測量設備 熱電偶-毫伏計等 | 監控測試環境的溫度，確保其恒定在規定范圍內。 |
| 濕度測試設備 濕度計等 | 監測測試環境的濕度，確保低于60%以減少干擾因素。 |
