1前言三氯化硼作為一種工業(yè)氣體，在有機(jī)合成、石油化工、電子和光纖工業(yè)領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用。三氯化硼可用作苯乙烯聚合反應(yīng)中的催化劑，也可用于硅半導(dǎo)體器件的擴(kuò)散、離子注入、干法蝕刻和制造太陽能電池元件等工藝過程；也可用作生產(chǎn)光導(dǎo)纖維的基礎(chǔ)材料,其純度對(duì)所制器件和光導(dǎo)纖維的質(zhì)量有直接影響。在生產(chǎn)三氟化硼工藝中...
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