ASTM E766-98(2008)e1
掃描電子顯微鏡的放大系數(shù)的標(biāo)準(zhǔn)校正規(guī)范

Standard Practice for Calibrating the Magnification of a Scanning Electron Microscope

被代替

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)

ASTM E766-98(2008)e1

發(fā)布

1998年

總頁(yè)數(shù)

6頁(yè)

發(fā)布單位

美國(guó)材料與試驗(yàn)協(xié)會(huì)

替代標(biāo)準(zhǔn)

ASTM E766-14

當(dāng)前最新

ASTM E766-14(2019)

 

 

適用范圍

正確使用這種做法可以在 10 至 50 000 倍的放大倍數(shù)范圍內(nèi)產(chǎn)生精度為 5% 或更高的校準(zhǔn)放大倍數(shù)。使用可追溯至國(guó)際/國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)（例如 NIST-SRM 484）的校準(zhǔn)樣本，通過(guò)這種做法，可以在操作條件的校準(zhǔn)范圍內(nèi)獲得精確到 5% 以上的放大倍率。校準(zhǔn)放大倍數(shù)或尺寸測(cè)量的精度將低于本實(shí)踐中使用的校準(zhǔn)樣本的精度。為了達(dá)到接近校準(zhǔn)樣本的精度，必須在用于對(duì)感興趣的樣本進(jìn)行成像的相同操作條件（加速電壓、工作距離和放大倍數(shù)）下應(yīng)用這種做法。使用這種做法的每個(gè)設(shè)施都有責(zé)任定義放大倍率和操作條件的標(biāo)準(zhǔn)范圍以及應(yīng)用這種做法所需的精度。標(biāo)準(zhǔn)操作條件必須包括操作員可以控制的參數(shù)，包括：加速電壓、工作距離、放大倍數(shù)和成像模式。
1.1 本實(shí)踐涵蓋了掃描電子顯微鏡放大倍數(shù)校準(zhǔn)所需的一般程序。真實(shí)放大倍率和指示放大倍率之間的關(guān)系是操作條件的復(fù)雜函數(shù)。因此，這種做法必須適用于要使用的每組標(biāo)準(zhǔn)操作條件。
1.2 以 SI 單位表示的值應(yīng)被視為標(biāo)準(zhǔn)值。本標(biāo)準(zhǔn)不包含其他計(jì)量單位。
1.3 本標(biāo)準(zhǔn)并不旨在解決與其使用相關(guān)的所有安全問(wèn)題（如果有）。本標(biāo)準(zhǔn)的使用者有責(zé)任在使用前建立適當(dāng)?shù)陌踩徒】祵?shí)踐并確定監(jiān)管限制的適用性。

專題

ASTM E766-98(2008)e1相似標(biāo)準(zhǔn)

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