如MEMS陀螺儀應用在汽車上對汽車進行控制,近年隨著技術的進步,MEMS陀螺儀芯片已大量用于手機等終端設備中,IEC/TC47/SC47F也制定IEC 62047-20《半導體器件微電子微機械器件第20部分:陀螺儀》標準來規(guī)范手機用MEMS陀螺儀芯片的生產(chǎn)與測試;以及IEC 62047-5《半導體器件微電子微機械器件第5部分:RF MEMS開關》用來規(guī)范通信設備用射頻MEMS開關的參數(shù)要求和測試方法...
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