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二次離子質譜是一種具有超高分辨率和靈敏度的固體表面分析技術。它可以分析氫元素到鈾元素在內的所有元素和同位素,還可以得到固體表面官能團和分子結構等信息。SIMS可以分為靜態SIMS(SSIMS)和動態SIMS(DSIMS)兩種類型,通過不同掃描類型,得到二次離子質譜圖、化學成像、動態深度剖析曲線等?! ?..
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